A method and system providing single point high spatial and timing resolution for photoemission microscopy of an integrated circuit. A microscope having an objective lens forming a focal plane is arranged to view the integrated circuit, and an aperture element having an aperture is optically aligned in the back focal plane of the microscope. The aperture element is positioned for viewing a selected area of the integrated circuit. A photo-diode optically aligned with the aperture to detect photoemissions when test signals are applied to the integrated circuit.

Метод и система обеспечивая spatial одиночного пункта высокое и приурочивая разрешение для микроскопии фотоэмиссии интегрированной цепи. Аранжированы, что осматривает микроскоп имея объективный объектив сформировать фокальная плоскость интегрированную цепь, и элемент апертуры имея апертуру оптически выровнян в заднем фокальная плоскость микроскопа. Элемент апертуры расположен для осматривать выбранную зону интегрированной цепи. Фотодиод оптически выровнял с апертурой для того чтобы обнаружить фотоэмиссии когда испытательные сигналы будут приложены к интегрированной цепи.