An optical resonance analysis system comprising a sensor means (60) and an illumination means (400) for generating non-monochromatic illumination. The illumination means (400) further comprises a means for generating illumination at a plurality of angles, a lens system for projecting said illumination at said plurality of angles (390) and a dispersive device (380) for dispersing said illumination at each of said plurality of angles so that there is a correlation between said plurality of angles and the wavelengths of said illumination such that a resonance condition is generated on said sensor mean (60) for all wavelengths generated by said non-monochromatic source simultaneously. The analysis system also comprises a detection means (90) for detecting the reflected or transmitted illumination. Another embodiment comprises an anamorphic imaging means (120).

Ein optisches Resonanzanalyse System, das Mittel eines Sensors (60) und eine Ablichtung Mittel (400) enthält für das Erzeugen der nicht-einfarbigen Ablichtung. Die Ablichtung Mittel (400) enthält weiter Mittel für das Erzeugen von von Ablichtung an einer Mehrzahl von Winkeln, an einem Objektivsystem für das Projizieren der besagten Ablichtung an besagter Mehrzahl der Winkel (390) und an einer Dispersionsvorrichtung (380) für zerstreuende besagte Ablichtung an jeder von besagter Mehrzahl von Winkeln, damit es eine Wechselbeziehung zwischen besagter Mehrzahl von Winkeln und den Wellenlängen der besagten Ablichtung so gibt, daß ein Resonanzzustand auf besagtem Sensor-Mittel (60) für alle Wellenlängen erzeugt wird, die gleichzeitig durch besagte nicht-einfarbige Quelle erzeugt werden. Das Analyse System enthält auch eine Abfragung Mittel (90) für das Ermitteln der reflektierten oder übertragenen Ablichtung. Eine andere Verkörperung enthält eine anamorphic Belichtung Mittel (120).

 
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< System to determine suitability of sion arc surface for DUV resist patterning

< Optical measurement arrangement having an ellipsometer

> Sensor system of surface plasmon resonance (SPR) and measuring method thereof

> Diffuse surface illumination apparatus and methods

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