A process solution supplying apparatus including a solution source from which a process solution is supplied, a supply pipe having an upstream end and a downstream end and connected at the upstream end to the solution source, a nozzle connected to the downstream end of the supply pipe, a pump provided on the supply pipe, for supplying the process solution from the solution source to the nozzle, an upstream control valve provided on the supply pipe and located between the pump and the solution source, and a deaerating mechanism provided between the pump and the upstream control valve, for removing gases from the process solution.

Um instrumento fornecendo da solução process including uma fonte da solução de que uma solução process é fornecida, uma tubulação da fonte que tem uma extremidade rio acima e uma extremidade downstream e conectada na extremidade rio acima à fonte da solução, um bocal conectou à extremidade downstream da tubulação da fonte, uma bomba fornecida na tubulação da fonte, fornecendo a solução process da fonte da solução ao bocal, uma válvula de controle rio acima fornecida na tubulação da fonte e situada entre a bomba e a fonte da solução, e um mecanismo desareando fornecido entre a bomba e a válvula de controle rio acima, removendo os gáses da solução process.