A microsensor including a VCSEL for use in a MEMS. By coupling the top mirror of the VCSEL to the micromechanical structure, either directly or indirectly, the motion of the micromechanical structure in response to a physical phenomenon can directly modulate the wavelength of the light emitted from the VCSEL. Also, a method for sensing and transmitting information about the configuration or motion of a mechanical structure. The method includes coupling the top mirror of a VCSEL to the mechanical structure that directly encodes information about the motion into the frequency of light emitted by the VCSEL.

Un microsensor incluyendo un VCSEL para el uso en un MEMS. Juntando el espejo superior del VCSEL a la estructura micromechanical, directamente o indirectamente, el movimiento de la estructura micromechanical en respuesta a un fenómeno físico puede modular directamente la longitud de onda de la luz emitida del VCSEL. También, un método para detectar y transmitir la información sobre la configuración o movimiento de una estructura mecánica. El método incluye juntar el espejo superior de un VCSEL a la estructura mecánica que codifica directamente la información sobre el movimiento en la frecuencia de la luz emitida por el VCSEL.