A novel SBTN (Sr.sub.a Bi.sub.b Ta.sub.c Nb.sub.d O.sub.x) thin film which exhibits satisfactory ferroelectric properties is disclosed, wherein a lies between 0.5 and 1, b lies between 2 and 2.7, c lies between 1 and 1.4, d lies between 0.6 and 1.1, and x lies between 8 and 10. The composition of Sr.sub.0.8 Bi.sub.2.5 Ta.sub.1.2 Nb.sub.0.9 O.sub.x wherein x lies between 9 and 10 is preferred. The Sr.sub.0.8 Bi.sub.2.5 Ta.sub.1.2 Nb.sub.0.9 O.sub.x thin film is formed by two-target off-axis RF magnetron sputtering at a temperature down to about 600.degree. C. One target is formed of Sr.sub.0.8 Bi.sub.2.2 Ta.sub.1.2 Nb.sub.0.8 O.sub.9, and the other target is formed of Bi.sub.2 O.sub.3.

Un romanzo SBTN (Sr.sub.a Bi.sub.b Ta.sub.c Nb.sub.d O.sub.x) la pellicola sottile che presenta le proprietà ferroelectric soddisfacenti è rilevata, in cui le bugie fra 0.5 e 1, b si trova fra 2 e 2.7, che c si trova fra 1 e 1.4, la d si trova fra 0.6 e 1.1 e la x si trova fra 8 e 10. La composizione di Sr.sub.0.8 Bi.sub.2.5 Ta.sub.1.2 Nb.sub.0.9 O.sub.x in cui la x si trova fra 9 e 10 è preferita. La pellicola sottile di Sr.sub.0.8 Bi.sub.2.5 Ta.sub.1.2 Nb.sub.0.9 O.sub.x è costituita dal magnetron di fuori-asse rf dell'due-obiettivo che polverizza ad una temperatura giù circa a 600.degree. C. Un obiettivo è formato di Sr.sub.0.8 Bi.sub.2.2 Ta.sub.1.2 Nb.sub.0.8 O.sub.9 e l'altro obiettivo è formato di Bi.sub.2 O.sub.3.