A position sensing apparatus, for sensing switching positions in a MEMS device that includes a suspension structure, an actuator, and a support structure, is provided. The apparatus includes a first contact disposed on the suspension structure, a second contact coupled to the support structure, and an indicator coupled to one of the first and second contacts. When the first and second contacts are in contact, the indicator provides a first signal, and when the first and second contacts are not in contact, the indicator provides a second signal.

Ein Lageerkennung Apparat, für die Abfragung von von c4schalterstellungen in einer MEMS Vorrichtung, die eine Aufhebungstruktur, einen Auslöser und eine Unterstützungsstruktur einschließt, wird zur Verfügung gestellt. Der Apparat schließt einen ersten Kontakt mit ein, der auf der Aufhebungstruktur abgeschaffen werden, einen zweiten Kontakt, der zur Unterstützungsstruktur verbunden werden, und eine Anzeige, die bis einen der ersten und zweiten Kontakte verbunden wird. Wenn die ersten und zweiten Kontakte im Kontakt sind, liefert die Anzeige ein erstes Signal, und wenn die ersten und zweiten Kontakte nicht innen Kontakt sind, liefert die Anzeige ein zweites Signal.