Cleaning and inspecting a surface of the substrate comprises subjecting the surface to the output of a laser source for applying a cleaning energy to the surface and thereby remove contaminants on the surface. The laser source is used for inspecting the surface being cleaned and to measure the effect of the cleaning.

Очищать и проверять поверхность субстрата состоят из подвергать поверхность к выходу источника лазера для придавать энергию чистки к поверхности и таким образом извлекают загрязняющьи елементы на поверхности. Источник лазера использован для проверять будучи очищанным поверхность и измерить влияние чистки.