Paste comprising metallic organic compound, in particular, gold-based metallic organic compound is used as a conductive material for repairing the broken defective part and is baked. This can produce a very thin metallic film having low electric resistance. Further, a semiconductor laser is used as a heating unit to heat only the broken defective part, and a heating profile having a baking process of provisional baking and main baking and a cooling process is provided to produce the high-quality thin metallic film having no crack and a dense texture.

Het deeg dat uit metaal organische samenstelling bestaat, in het bijzonder, wordt gouden-gebaseerde metaal organische samenstelling gebruikt als geleidend materiaal voor het herstellen van het gebroken gebrekkige deel en gebakken. Dit kan een zeer dunne metaalfilm produceren die lage elektrische weerstand heeft. Verder, wordt een halfgeleiderlaser gebruikt als het verwarmen eenheid om slechts het gebroken gebrekkige deel te verwarmen, en een het verwarmen profiel dat een bakproces van voorlopig baksel en hoofdbaksel en een het koelen procédé heeft wordt verstrekt om de dunne metaalfilm te produceren die van uitstekende kwaliteit geen barst en een dichte textuur heeft.

 
Web www.patentalert.com

< (none)

< Method of pattern etching a low K dielectric layer

> Composition and method for polishing in metal CMP

> (none)

~ 00023