An improved conveyor system for transporting a microelectronic workpiece within a processing tool is set forth. The conveyor system includes a transport unit slidably guided on a conveyor rail for transporting and manipulating the workpieces. The transport unit includes a vertical member which is connected to a base end of a two section robot arm. The robot arm includes an end effector at a distal end thereof which is actuated to grip a surrounding edge of a workpiece. A first rotary actuator is arranged to rotate the vertical member about its axis to rotate the entire robot arm. A second rotary actuator is positioned to rotate the second section of the robot arm, via a belt, with respect to the first section of the robot arm. A third rotary actuator is arranged to rotate the end effector about its horizontal axis. The third rotary actuator permits the end effector to flip the microelectronic workpiece between a face up and a face down orientation. In a further aspect of the invention, two transport units are mounted to slide laterally on the conveyor rail. The transport units include a vertical space between respective end effectors and the first sections of the robot arms to allow wafers carried by the end effectors to overlap in plan. Two different end effectors are disclosed, a plunger activated gripping device and a vacuum operated gripping device which uses raised pad areas, vacuum ports and locating pins.

Ein verbessertes Förderwerksystem für das Transportieren eines Mikroelektronischen Werkstückes innerhalb eines verarbeitenwerkzeugs wird festgelegt. Das Förderwerksystem schließt eine Transportmaßeinheit ein, die verschiebbar auf eine Förderwerkschiene für das Transportieren und die Manipulierung der Werkstücke geführt wird. Die Transportmaßeinheit schließt ein vertikales Mitglied ein, das an ein niedriges Ende eines Roboterarmes mit zwei Abschnitten angeschlossen wird. Der Roboterarm schließt ein Ende ein, das an einem distalen Ende davon ausführend ist, das betätigt wird, um einen umgebenden Rand eines Werkstückes zu greifen. Ein erster Drehauslöser wird geordnet, um das vertikale Mitglied über seine Mittellinie zu drehen, um den gesamten Roboterarm zu drehen. Ein zweiter Drehauslöser wird in Position gebracht, um den zweiten Abschnitt des Roboterarmes, über einen Riemen, in Bezug auf den ersten Abschnitt des Roboterarmes zu drehen. Ein dritter Drehauslöser wird geordnet, um das Ende zu drehen, das über seine horizontale Mittellinie ausführend ist. Der dritte Drehauslöser ermöglicht das Ende, das, das Mikroelektronische Werkstück zwischen einer nach oben und Gesicht Lagebestimmung unten leicht zu schlagen ausführend ist. In einem zusätzlicheren Aspekt der Erfindung, werden zwei Transportmaßeinheiten angebracht, um auf die Förderwerkschiene seitlich zu schieben. Die Transportmaßeinheiten schließen einen vertikalen Raum zwischen jeweiligen Ende effectors und den ersten Abschnitten der Roboterarme ein, um Oblaten getragene effectors sich im Plan decken bis Ende zu lassen. Zwei unterschiedliche Ende effectors werden, eine Spulenkern aktivierte ergreifende Vorrichtung und eine Vakuum bearbeitete ergreifende Vorrichtung freigegeben, die angehobene Auflagebereiche, Vakuumtore und Paßstifte benutzt.