An ink-jet printhead and a method of manufacturing the ink-jet printhead
include a substrate on which at least one heater and a passivation layer
protecting the at least one heater are formed, a passage plate formed on
the substrate to provide a chamber corresponding to the at least one
heater, and a nozzle plate in which an orifice corresponding to the
chamber is formed. The passage plate is formed of photoresist, and the
nozzle plate is formed of a silicon-family material at a temperature
limited by characteristics of the passage plate.
Printhead ink-jet и метод изготовлять printhead ink-jet вклюают субстрат на по крайней мере сформированы один подогреватель и слой запассивированности защищая по крайней мере один подогреватель, плиту прохода сформированную на субстрате для того чтобы обеспечить камеру соответствуя к по крайней мере одному подогревателю, и плиту сопла в которой сформировано отверстие соответствуя к камере. Плита прохода сформирована фоторезиста, и плита сопла сформирована материала кремни-sem6i на температуре ограничиваемой характеристиками плиты прохода.