A metrology process for increasing image contrast of a buried feature,
comprising milling a selected surface of a substrate to expose a cross
section of the buried feature; exposing the exposed cross section with a
gas mixture, wherein the gas mixture comprises a flourine bearing
compound; and irradiating the exposed cross section with a high energy
beam to increase image contrast of the buried feature.
Процесс метрологии для увеличивать контраст изображения похороненной характеристики, состоя из филирующ выбранную поверхность субстрата для того чтобы подвергнуть действию сечение похороненной характеристики; подвергающ действию, котор подвергли действию сечение с газовой смесью, при котором газовая смесь состоит из смеси подшипника flourine; и облучающ, котор подвергли действию сечение с лучем высокой энергии для того чтобы увеличить контраст изображения похороненной характеристики.
