Frequency transform phase shifting interferometry

   
   

The invention features methods and systems in which wavelength-tune PSI data is analyzed in the frequency domain to produce spectrally separated frequency peaks each corresponding to a particular pair of surfaces in an interferometric cavity defined by multiple pairs of surfaces. Each frequency peak provides optical path length information about a corresponding pair of surfaces in the cavity. As a result, the interferometric data from such cavities provides simultaneous information about multiple surfaces.

Вымысел отличает методами и системы в длин волны-nastro6te данные по psi проанализированы в домене частоты для того чтобы произвести спектрально отделенные пики каждое частоты соответствуя к определенной паре поверхностей в интерферометрической полости определенной множественными парами поверхностей. Каждый пик частоты обеспечивает оптически данные по длины курса о соответствуя паре поверхностей в полости. В результате, интерферометрические данные от таких полостей обеспечивают одновременную информацию о множественных поверхностях.

 
Web www.patentalert.com

< Spatial filtering in interferometry

< Method and apparatus providing capitalization recovery for text

> Gas-target neutron generation and applications

> Electron source and cable for x-ray tubes

~ 00174