Electromechanical transducer with an adhesive layer and an anti-diffusion layer

   
   

An electromechanical transducer is produced by the successive lamination of an adhesive layer, a bottom electrode, an anti-diffusion layer, a ferroelectric thin film, and a top electrode over an installation surface. The adhesive layer is formed from an alloy containing an anti-diffusion metal. The anti-diffusion layer is formed from an alloy containing the anti-diffusion metal and an adhesive metal.

Un capteur électromécanique est produit par la stratification successive d'une couche adhésive, d'une électrode de sole, d'une couche d'anti-diffusion, d'une couche mince ferroelectric, et d'une électrode supérieure au-dessus d'une surface d'installation. La couche adhésive est formée d'un alliage contenant un métal d'anti-diffusion. La couche d'anti-diffusion est formée d'un alliage contenant le métal d'anti-diffusion et un métal adhésif.

 
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