An air-supply machine cleans outside air. The cleaned outside air is
dehumidified by cooling by performing heat exchange between the cleaned
outside air and an exhaust air from a lithography apparatus by a first
heat-pipe. The dehumidified outside air is heated by performing heat
treatment between the dehumidified outside air and an exhaust air from a
vertical heat treatment apparatus by a second heat-pipe. The heated
outside air is supplied to inside the housing of the vertical heat
treatment apparatus. Thereby, the consumption of air in the clean room is
reduced and the running cost of the clean room is reduced.
Maakt een lucht-levering machine buitenlucht schoon. De schoongemaakte buitenlucht wordt ontwaterd door te koelen door hitteuitwisseling tussen de schoongemaakte buitenlucht en een uitlaatlucht van een lithografieapparaat door een eerste hitte-pijp uit te voeren. De ontwaterde buitenlucht wordt verwarmd door thermische behandeling tussen de ontwaterde buitenlucht en een uitlaatlucht van een verticaal thermische behandelingsapparaat door een tweede hitte-pijp uit te voeren. De verwarmde buitenlucht wordt geleverd aan binnen de huisvesting van de verticale thermische behandelingsapparaten. Daardoor, wordt de consumptie van lucht in de schone ruimte verminderd en de bedrijfskosten van de schone ruimte worden gedrukt.
