An apparatus and method for detecting pattern defects and/or particles on
the front surface of a semiconductor wafer having repetitive patterns
includes a laser for illuminating an area on the front surface with a beam
of polarized light. A lens collects light scattered from the area and
forms a Fourier diffraction pattern of the area illuminated. A Fourier
mask blocks out scattered light collected by the lens at locations in the
Fourier diffraction pattern where the intensity is above a predetermined
level indicative of background information and leaves in light at
locations where the intensity is below the threshold level indicative of
possible particle information. The Fourier mask includes a spatial light
modulator and a polarization discriminator. The lens also images the area
illuminated onto a camera using scattered light collected from the area by
the lens and not blocked out by the Fourier mask. In one embodiment of the
invention the spatial light modulator is optically addressable and in
other embodiments of the invention the spatial light modulator is
electrically addressable.
Прибор и метод для обнаруживать дефекты and/or частицы картины на передней поверхности вафли полупроводника имея repetitive картины вклюают лазер для освещать зону на передней поверхности с лучем поляризовыванного света. Объектив собирает разбросанный свет от области и формирует картину огибания fourier загоранной области. Маска fourier преграждает вне разбросанный свет собранный объективом на положениях в картине огибания fourier где интенсивность над предопределенным уровнем признаковым основной информации и выходит в свет на положениях где интенсивность под уровнем порога признаковым по возможности данных по частицы. Маска fourier вклюает spatial светлый модулятор/демодулятор и различитель поляризации. Объектива изображения также, котор область загорелась на камеру используя разбросанный свет собрали от области объективом и преграженной вне маской fourier. В одном воплощении вымысла spatial светлый модулятор/демодулятор оптически addressable и в других воплощениях вымысла spatial светлый модулятор/демодулятор электрически addressable.
