A high flow rate bubbler system and method are provided for producing a
stable, easily controllable source of chemical vapors to a downstream
process. The bubbler system is equipped with a vaporizer unit connected to
its gas outlet tube. This vaporizer unit slows the gas velocity to enhance
settling of entrained droplets and contacts the exiting gas with a high
thermal mass, heated surfaces to promote heat transfer and evaporation of
the entrained droplets.
Um sistema e um método elevados do bubbler da taxa de fluxo são fornecidos produzindo um estábulo, fàcilmente fonte controllable de vapores químicos a um processo downstream. O sistema do bubbler é equipado com uma unidade do vaporizer conectada a seu tubo de tomada do gás. Esta unidade do vaporizer retarda a velocidade do gás para realçar estabelecir-se de gotas entrained e contata o gás retirando com uma massa térmica elevada, superfícies aquecidas para promover transferência de calor e a evaporação das gotas entrained.
