An optical monitoring system for monitoring thin film deposition on a
substrate includes a support bridge that is attached on an inside of a
deposition chamber. The system further includes a fiber optic collimator
having an optical fiber for incoming light, and another fiber optic
collimator having an optical fiber for transmitted or reflected light from
the substrate. The system further includes a shutter that is closed when a
desired thin film thickness is deposited on the substrate.
Eine optische Überwachungsanlage für die Überwachung von von Dünnfilmabsetzung auf einem Substrat schließt eine Unterstützungsbrücke mit ein, die auf einem Innere eines Absetzungraumes angebracht wird. Das System, das weiter ist, schließt einen Faseroptikkollimator mit ein, der eine optische Faser für ankommendes Licht haben, und einen anderen Faseroptikkollimator, der eine optische Faser für übertragenes oder reflektiertes Licht vom Substrat hat. Das weitere System schließt einen Blendenverschluß mit ein, der geschlossen ist, wenn eine gewünschte Dünnfilmstärke auf dem Substrat niedergelegt wird.
