A stand-alone plasma vacuum pump for pumping gas from a low-pressure inlet
to a high-pressure outlet, composed of: a housing enclosing one or more
pumping regions located between the inlet and the outlet; a plurality of
permanent magnet assemblies providing magnetic fields that extend in the
pumping region between the inlet and the outlet, the magnetic field
forming magnetic flux channels for guiding and confining plasmas; elements
disposed for coupling microwave power into the flux channels to heat
electrons, ionize gas, and accelerate plasma ions in a direction from the
inlet to the outlet; elements disposed for creating an electric in the
magnetic flux channels to accelerate ions in the flux channels toward the
outlet by momentum transfer; and a differential conductance baffle
proximate to the outlet for promoting flow of plasma ions and neutral
atoms to the outlet.
Uma bomba de vácuo autônoma do plasma para o gás bombeando de uma entrada low-pressure a uma tomada de alta pressão, composta de: uma carcaça que inclui aquele ou mais regiões bombeando situadas entre a entrada e a tomada; um plurality dos conjuntos de ímã permanentes que fornecem os campos magnéticos que estendem na região bombeando entre a entrada e a tomada, o campo magnético que dá forma às canaletas magnéticas do fluxo para plasmas guiando e confinando; os elementos dispostos para o poder da microonda do acoplamento nas canaletas do fluxo aquecer elétrons, ionizam o gás, e aceleram íons do plasma em um sentido da entrada à tomada; os elementos dispuseram criando um elétrico nas canaletas magnéticas do fluxo aceleram íons nas canaletas do fluxo para a tomada por transferência do momentum; e um defletor diferencial do conductance proximate à tomada para promover o fluxo de íons do plasma e de átomos neutros à tomada.
