The present invention provides a technique for determining characteristics
of substrates, such as the presence of contaminants, shape, as well as the
spatial relationships between spaced-apart substrates. The spatial
relationships include distance and angular orientation, between first and
second spaced apart substrates. The technique includes forming a volume of
fluid on the second substrate, with the volume of fluid having an area
associated therewith. The volume of fluid is compressed between the first
and second substrates to effectuate a change in properties of the area,
defining changed properties. The changed properties are sensed, and the
characteristics of the first and second substrates are determined as a
function of the changed properties.
La présente invention fournit une technique pour déterminer des caractéristiques des substrats, telles que la présence des contaminants, forment, aussi bien que les rapports spatiaux entre les substrats espacés-à part. Les rapports spatiaux incluent la distance et l'orientation angulaire, les substrats distants entre d'abord et en second lieu espacés. La technique inclut former un volume de fluide sur le deuxième substrat, avec le volume de fluide faisant associer un secteur en conséquence. Le volume de fluide est comprimé entre les premiers et deuxièmes substrats pour effectuer un changement des propriétés du secteur, définissant les propriétés changées. Les propriétés changées sont senties, et les caractéristiques des premiers et deuxièmes substrats sont déterminées en fonction des propriétés changées.
