The present invention alleviates stiction between a suspended beam or
microstructure and an underlying substrate by providing a patterned
passivation layer on the substrate underneath the beam. The passivation
layer is patterned to provide a substrate surface that differs
substantially from the bottom surface of the beam. The difference between
these two surfaces reduces the potential contact area between the beam and
the substrate when the beam is pulled down, thereby reducing adhesive
forces between the beam and the substrate and reducing the likelihood of
stiction. In one embodiment, the passivation layer is patterned to form a
substrate surface comprising a plurality of protuberances. In another
embodiment, the passivation layer is patterned to form a substrate surface
having a mesh pattern.
Η παρούσα εφεύρεση ανακουφίζει το stiction μεταξύ μιας ανασταλμένης ακτίνας ή μιας μικροδομής και ένα ελλοχεύον υπόστρωμα με την παροχή ενός διαμορφωμένου στρώματος παθητικότητας στο υπόστρωμα κάτω από την ακτίνα. Το στρώμα παθητικότητας είναι διαμορφωμένο για να παρέχει μια επιφάνεια υποστρωμάτων που διαφέρει ουσιαστικά από την κατώτατη επιφάνεια της ακτίνας. Η διαφορά μεταξύ αυτών των δύο επιφανειών μειώνει την πιθανή περιοχή επαφών μεταξύ της ακτίνας και του υποστρώματος όταν τραβιέται κάτω η ακτίνα, με αυτόν τον τρόπο μειώνοντας τις συγκολλητικές δυνάμεις μεταξύ της ακτίνας και του υποστρώματος και μειώνοντας την πιθανότητα του stiction. Σε μια ενσωμάτωση, το στρώμα παθητικότητας είναι διαμορφωμένο για να διαμορφώσει μια επιφάνεια υποστρωμάτων που περιλαμβάνει μια πολλαπλότητα των προεξοχών. Σε μια άλλη ενσωμάτωση, το στρώμα παθητικότητας είναι διαμορφωμένο για να διαμορφώσει μια επιφάνεια υποστρωμάτων που έχει ένα σχέδιο πλέγματος.
