A device for detecting the angle of incidence of radiation on a radiation
incidence surface (14) comprises at last two first pairs (36) of
photodiodes comprising first photodiodes (30) arranged along a first axis
(12) and connected in series in a pair-wise manner. Each of the first
photodiodes (30) comprises a space-charge zone (32) having a space-charge
zone face (34) oriented towards the radiation incidence face (14).
Further, the device is provided with a a shading mask (46) arranged at a
distance (44) above the space-charge zone faces (34) of the first
photodiodes (30) and comprising radiation-transmitting areas (48). Each
radiation-transmitting area (48) is assigned to the space-charge zone
faces (34) of the two first photodiodes (30) of a first pair (36) of
photodiodes. When viewed in the direction of the normal of the radiation
incidence face (14), the degree of overlapping between a
radiation-transmitting area (48) and its assigned space-charge zone faces
(34) in the direction of the first axis (12) is different for at least two
of the first pairs (36) of photodiodes. The device also comprises an
evaluation unit (56) for monitoring the photocurrent and/or the
photovoltage of each first photodiode (30) of each first pair (36) of
photodiodes and for detecting, on the basis of a comparison of the
photocurrents and/or the photovoltages, the angle of incidence under which
the component of the radiation which in the projection is directed
parallel to the first axis (12) impinges on the radiation incidence face
(14).
Eine Vorrichtung für das Ermitteln des Einfallswinkels der Strahlung auf einer Strahlung Ausdehnung Oberfläche (14) enthält schließlich zwei erste Paare (36) von den Fotodioden, welche die ersten Fotodioden enthalten (30), die entlang einer ersten Mittellinie (12) geordnet werden und paarweise in der Reihe in einer Weise geschaltet sind. Jede der ersten Fotodioden, die (30) enthält, Raum-laden die Zone auf (32), die hat, Raum-aufladen das Zone Gesicht (34), das in Richtung zum Strahlung Ausdehnung Gesicht (14) orientiert wird. Weiter wird die Vorrichtung mit eine schattierende Schablone versehen (46), die in einem Abstand (44) über geordnet wird, Raum-aufladen Zone Gesichter (34) der ersten Fotodioden (30) und des Enthaltens der Strahlung-übertragenden Bereiche (48). Jeder Strahlung-übertragende Bereich (48) wird Raum-aufladen Zone Gesichter (34) der zwei ersten Fotodioden (30) eines ersten Paares (36) Fotodioden zugewiesen. Wenn sie in der Richtung des Normal des Strahlung Ausdehnung Gesichtes (14) angesehen werden, Raum-laden der Grad der Überschneidung zwischen einem Strahlung-übertragenden Bereich (48) und seine zugewiesen Zone Gesichter auf, die (34) in der Richtung der ersten Mittellinie (12) für zwei mindestens der ersten Paare (36) von Fotodioden unterschiedlich ist. Die Vorrichtung enthält auch eine Auswertung Maßeinheit (56) für die Überwachung das photocurrent und/oder die Photospannung jeder ersten Fotodiode (30) jedes ersten Paares (36) Fotodioden und für das Ermitteln, auf der Grundlage von einen Vergleich der photocurrents und/oder die photovoltages, den Einfallswinkel, unter dem der Bestandteil der Strahlung, die in der Projektion zur ersten Mittellinie (12) verwiesenes paralleles ist, mit dem Strahlung Ausdehnung Gesicht (14) zusammenstößt.
