Near-field photolithographic masks and photolithography; nanoscale patterning techniques; apparatus and method therefor

   
   

A new field of technology, near-field photolithography, is proposed. In near-field photolithography, an opaque pattern having a nanoscale resolution is made using a modified scanning tunneling microscope to deposit the opaque material on an electrically conductive material. A transparent sheet of indium tin oxide is patterned with a plurality of opaque copper deposits having a nanoscale resolution. The patterned indium tin oxide is then used as a photolithographic mask in the optical near-field. Near-field resolution is not diffraction limited, and near-field photolithography is able to pattern objects with sub-wavelength resolution. As a result, smaller semiconductor microchips can be manufactured and a new nanotechnology, e.g., nanomachines, can be developed. The scanning tunneling microscope (STM) is used as an "electrochemical paintbrush" to transfer the copper from a massive copper supply to the STM electrode tip and then to the ITO surface without degrading the STM tip.

Un nuovo campo di tecnologia, photolithography del vicino-campo, è proposto. Nel photolithography del vicino-campo, un modello opaco che ha una risoluzione del nanoscale è fatto per mezzo di un microscopio modificato di traforo di esame per depositare il materiale opaco su un materiale elettricamente conduttivo. Un foglio trasparente dell'ossido della latta dell'indio è modellato con una pluralità di depositi di rame opachi che hanno una risoluzione del nanoscale. L'ossido modellato della latta dell'indio allora è usato come mascherina photolithographic nel vicino-campo ottico. la risoluzione del Vicino-campo non è la diffrazione limitata ed il photolithography del vicino-campo può modellare gli oggetti con risoluzione di secondario-lunghezza d'onda. Di conseguenza, i più piccoli microchips a semiconduttore possono essere manufactured e un nuovo nanotechnology, per esempio, nanomachines, può essere sviluppato. Il microscopio di traforo di esame (STM) è utilizzato come "un pennello elettrochimico" per trasferire il rame da un rifornimento di rame voluminoso alla punta dell'elettrodo di STM ed allora alla superficie di ITO senza degradare la punta di STM.

 
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