A conductor for interconnecting integrated circuit components having
improved reliability. The conductor includes a liner surrounding at least
three surfaces of the conductor, producing a low textured conductor. It
has been found that low textured conductor results in improved
electromigration lifetime.
Ένας αγωγός για τη διασύνδεση των τμημάτων ολοκληρωμένων κυκλωμάτων που έχουν βελτιώσει την αξιοπιστία. Ο αγωγός περιλαμβάνει ένα σκάφος της γραμμής που περιβάλλει τουλάχιστον τρεις επιφάνειες του αγωγού, παράγοντας έναν χαμηλό κατασκευασμένο αγωγό. Έχει διαπιστωθεί ότι ο χαμηλός κατασκευασμένος αγωγός οδηγεί στη βελτιωμένη electromigration διάρκεια ζωής.
