Micromirror systems with side-supported mirrors and concealed flexure members

   
   

Micromirror devices, especially for use in digital projection are disclosed. Other applications are contemplated as well. The devices employ a superstructure that includes a mirror supported over a hinge set above a substructure. Various improvements to the superstructure over known micromirror devices are provided. The features described are applicable to improve manufacturability, enable further miniaturization of the elements and/or to increase relative light return. Devices can be produced utilizing the various optional features described herein, possibly offering cost savings, lower power consumption, and higher resolution.

I dispositivi di Micromirror, particolarmente per uso nella proiezione digitale sono rilevati. Altre applicazioni sono contemplate pure. I dispositivi impiegano una sovrastruttura che include uno specchio sostenuto sopra una cerniera regolata sopra una sottostruttura. I vari miglioramenti ai dispositivi di micromirror conosciuti eccedenza della sovrastruttura sono forniti. Le caratteristiche descritte sono applicabili migliorare il manufacturability, permettono ulteriore minaturizzazione degli elementi e/o aumentare il ritorno relativo della luce. I dispositivi possono essere prodotti utilizzando le varie caratteristiche facoltative descritte qui, riduzioni dei costi possibilmente di offerta, assorbimento di corrente di energia più basso e più alta risoluzione.

 
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