Clean room for semiconductor device

   
   

A clean room has an equipment installation area where an apparatus for treating an object to be treated such as a semiconductor wafer is installed, a process area 4 where the object is loaded in or unloaded from the apparatus, and an operation area where operations of the apparatus are executed. The equipment installation area, the process area and the operation area are arranged horizontally in the above-stated order and separated by partitions. These areas are air-conditioned independently of one another. The clean room is thus capable of preventing contamination of the object and a running cost of chemical filters in the clean room is reduced.

Ένα καθαρό δωμάτιο έχει μια περιοχή εγκαταστάσεων εξοπλισμού όπου μια συσκευή για ένα αντικείμενο που αντιμετωπίζεται όπως μια γκοφρέτα ημιαγωγών εγκαθίσταται, μια περιοχή διαδικασίας 4 όπου το αντικείμενο φορτώνεται μέσα ή ξεφορτώνεται από τις συσκευές, και μια περιοχή λειτουργίας όπου οι διαδικασίες των συσκευών εκτελούνται. Η περιοχή εγκαταστάσεων εξοπλισμού, η περιοχή διαδικασίας και η περιοχή λειτουργίας τακτοποιούνται οριζόντια στην επάνω από-δηλωμένη διαταγή και χωρίζονται από τα χωρίσματα. Αυτές οι περιοχές είναι κλιματιζόμενες ανεξάρτητα από το ένα άλλη. Το καθαρό δωμάτιο είναι έτσι σε θέση τη μόλυνση του αντικειμένου και ένα τρέχον κόστος των χημικών φίλτρων στο καθαρό δωμάτιο μειώνεται.

 
Web www.patentalert.com

< Device for the articulated connection of two bodies

< Semiconductor integrated circuit device having a test path

> Information recording medium with SiO2-In2O3-SnO2-ZnS protective layer

> Magnetic tape cartridge having projections

~ 00169