Lithography tool having a vacuum reticle library coupled to a vacuum chamber

   
   

A lithography tool includes an exposure chamber and a reticle handler that exchanges a reticle being exposed as prescribed by the user of the lithography tool. The reticle handler can include a vacuum-compatible robot, a vacuum chamber to house the robot, a load-lock to input reticles and transition them from atmospheric pressure to vacuum, a processing station for processing the reticle, and a reticle library for storing at least one extra reticle so that it is quickly available for exchange during an exposure process. The robot can have a two or more handed gripper to simultaneously hold multiple reticles. This allows a first reticle to be removed from the reticle stage with a first hand and a second reticle to be loaded onto the reticle stage with a second hand, and so on, which minimizes exchange time.

Uma ferramenta do lithography inclui uma câmara da exposição e um alimentador do reticle que troque um reticle que está sendo exposto como prescrito pelo usuário da ferramenta do lithography. O alimentador do reticle pode incluir um robô vácuo-compatível, uma câmara do vácuo para abrigar o robô, um carga-fechamento para input reticles e transição eles da pressão atmosférica vacuum, uma estação processando para processar o reticle, e uma biblioteca do reticle para armazenar em menos reticle um extra assim que está rapidamente disponível para a troca durante um processo da exposição. O robô pode mandar uns dois ou mais prendedores entregues a simultaneamente prender reticles múltiplos. Isto permite que um primeiro reticle seja removido do estágio do reticle com uma primeira mão e um segundo reticle a ser carregados no estágio do reticle com uma segunda mão, e assim por diante, que minimize o tempo de troca.

 
Web www.patentalert.com

< Robot device and method of controlling robot device operation

< Image distribution system

> Substrate processing apparatus for inspecting processing history data

> Remote tapping method and system for internally tapping a conduit

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