A molecular drag vacuum pump for pumping a gas from an inlet to an outlet
includes a high-speed spinning disk disposed within a housing. Gas flows
through passageways in the housing adjacent the disk, where it comes into
contact with surfaces of the spinning disk. Conformable wipers direct the
gas to successive stages adjacent the disk. The pump can be powered by an
integrated motor, comprising permanent magnets in the disk and cooperating
coils in the housing. The pump can include various features, such as
ridges on the wipers, seal rings, and regenerative pumping pockets, to
reduce leakage and prevent backflow. The housing can have a modular
configuration to allow two or more pump modules to be connected and
operate in series. Successive modules may be independently or commonly
powered, and may counter-rotate.
Молекулярный вачуумный насос сопротивления для нагнетать газ от входа к выходу вклюает диск высокой скорости закручивая размещанный внутри снабжение жилищем. Газ пропускает через переходные люки в снабжении жилищем смежном диск, куда он приходит в контакт с поверхностями закручивая диска. Сообразные счищатели направляют газ к последовательным этапам смежным диск. Насос может быть приведен в действие интегрированным мотором, состоя из постоянных магнитов в диске и кооперируя катушек в снабжении жилищем. Насос может включить различные характеристики, such as зиги на счищателях, seal rings, и регенеративные нагнетая карманы, для уменьшения утечки и для того чтобы предотвратить противорот. Снабжение жилищем может иметь модульную конфигурацию для того чтобы позволить два или несколько модулей насоса, котор нужно соединиться и привестись в действие в серии. Последовательные модули могут независимо или общ привести в действие, и могут счетчик-povernut6.
