A process for treating and recovering CVD exhaust gas is provided, which
can reduce periodical maintenance by converting the raw gas employed and
the intermediate products contained in the CVD system into highly volatile
halides, separating and recovering them as materials with good
reusability. An unreacted raw gas and intermediate products contained in
CVD exhaust gas are partially decomposed by being subject to decomposition
treatment or conversion reaction treatment, and then halogenosilane gas
and hydrogen chloride are separated and recovered. Alternatively, a raw
gas and intermediate products are decomposed into hydrogen chloride and
recovered.
Um processo para tratar e recuperar o gás de exaustão do CVD é fornecido, que pode reduzir a manutenção periódica convertendo o gás cru empregado e os produtos intermediários contidos no sistema do CVD nos halides altamente temporários, separando e recuperando os como materiais com o reusability bom. Um gás cru unreacted e uns produtos intermediários contidos no gás de exaustão do CVD decomposed parcialmente sendo sujeitos ao tratamento do decomposition ou ao tratamento da reação da conversão, e então o gás do halogenosilane e o cloreto de hidrogênio são separados e recuperados. Alternativamente, um gás cru e uns produtos intermediários decomposed no cloreto de hidrogênio e são recuperados.
