A stage apparatus includes a stage movable along at least one axis, a laser
head for generating a laser beam, an optical unit which is mounted on the
stage and splits the laser beam into reference and measurement beams, a
mirror which is arranged outside the stage and reflects the measurement
beam, and a detector which is arranged outside the stage and detects an
interference beam of the reference and measurement beams.
Ein Stadium Apparat schließt ein Stadium Bewegliches entlang mindestens einer Mittellinie, einen Laser Kopf für das Erzeugen eines Laserstrahles, eine optische Maßeinheit, die am Stadium angebracht und den Laserstrahl in Bezugs- und Maßlichtstrahlen aufspaltet wird, einen Spiegel, der außerhalb des Stadiums geordnet und den Maßlichtstrahl reflektiert wird, und einen Detektor mit ein, der außerhalb des Stadiums geordnet und einen Störung Lichtstrahl der Bezugs- und Maßlichtstrahlen ermittelt wird.
