Resonator optics for high power UV lasers

   
   

An excimer or molecular fluorine laser system includes a discharge chamber filled with a laser gas mixture at least including a halogen-containing molecular species and a buffer gas, multiple electrodes within the discharge chamber connected to a discharge circuit for energizing the gas mixture, and a resonator for generating a laser beam including an optical component made of MgF.sub.2. The optical component made of MgF.sub.2 has been previously cleaved along a predetermined plane, such that the refractive indices of the birefringent MgF.sub.2 material for orthogonal polarization components of the beam are either at least approximately equal so that the polarization of the beam due to the influence of the birefringent nature of the MgF.sub.2 material is not substantially reduced, or are approximately maximum so that at least a portion of one of the components is rejected by the resonator so that the polarization of the beam is increased due to the birefringent nature of the MgF.sub.2.

Excimer или молекулярная система лазера фтора вклюают камеру разрядки заполненную с газовой смесью лазера по крайней мере включая halogen-containing молекулярный вид и газ буфера, множественные электроды внутри камера разрядки подключенная к разрядке обходит вокруг для подпитывать газовую смесь, и резонатора для производить лазерныйа луч включая оптически компонент сделанный MgF.sub.2. Оптически компонент сделанный MgF.sub.2 ранее был вдоль предопределенной плоскости, такого что рефрактивные индексы birefringent материала MgF.sub.2 для ортогональных компонентов поляризации луча тем по крайней мере приблизительно равный так, что поляризация луча должного к влиянию birefringent природы материала MgF.sub.2 существенн не будет уменьшена, или приблизительно максимальны так, что по крайней мере часть одного из компонентов будет излучена резонатором так, что поляризация луча будет увеличенные должными к birefringent природе MgF.sub.2.

 
Web www.patentalert.com

< Compact laser package with integrated temperature control

< Semiconductor laser device, method of fabricating the same, and optical pickup employing the same

> Method for designing photonic-crystal distributed-feedback and distributed bragg-reflector lasers

> Method for fabricating chirped fiber Bragg gratings

~ 00167