A spatial light modulator is disclosed, along with methods for making such
a modulator, that comprises an array of micromirrors each having a hinge
and a micromirror plate held via the hinge on a substrate, the micromirror
plate being disposed in a plane separate from the hinge and having a
diagonal extending across the micromirror plate, the micromirror plate
being attached to the hinge such that the micromirror plate can rotate
along a rotation axis that is parallel to, but off-set from the diagonal
of the micromirror plate. Also disclosed is a projection system that
comprises such a spatial light modulator, as well as a light source,
condensing optics, wherein light from the light source is focused onto the
array of micromirrors, projection optics for projecting light selectively
reflected from the array of micromirrors onto a target, and a controller
for selectively actuating the micromirrors in the array.
Een ruimte lichte modulator wordt onthuld, samen met methodes om een dergelijke modulator te maken, die uit een serie van micromirrors elk bestaat die een scharnier en een micromirrorplaat heeft die via de scharnier op een substraat, de micromirrorplaat wordt gehouden die in een vliegtuig afzonderlijk van de scharnier wordt geschikt en een diagonaal heeft zich uitbreidt over de micromirrorplaat, de micromirrorplaat die aan de scharnier wordt vastgemaakt dusdanig dat de micromirrorplaat langs een omwentelingsas kan roteren die met parallel is, maar gecompenseerd van de diagonaal van de micromirrorplaat. Ook onthuld worden een projectiesysteem dat uit een dergelijke ruimte lichte modulator bestaan, evenals een lichtbron, het condenseren optica, waarin het licht uit de lichtbron op de serie van micromirrors wordt geconcentreerd, projectieoptica voor het ontwerpen van licht dat selectief van de serie van micromirrors op een doel wordt weerspiegeld, en een controlemechanisme voor selectief het aandrijven van micromirrors in de serie.
