The present invention relates to a capacitive micro-electro-mechanical
switch and method of manufacturing the same. In the capacitive
micro-electro-mechanical switch for use in the radio frequency (RF) and
the microwave driven by the electrostatic force, a capacitor of a
3-dimensional structure is formed on a signal transmission line. An ON
capacitance is increased without increasing an capacitor area while
preventing an increase in an OFF capacitance using the capacitor. Thus, an
ON/OFF capacitance ratio of the capacitive micro-electro-mechanical switch
can be increased and insertion loss and isolation characteristic could be
improved.
De onderhavige uitvinding heeft op een capacitieve micro-electro-mechanical schakelaar en een methode om het zelfde betrekking te vervaardigen. In de capacitieve micro-electro-mechanical schakelaar voor gebruik in de radiofrequentie (RF) en de microgolf die door de elektrostatische kracht wordt gedreven, wordt een condensator van een 3-dimensionale structuur gevormd op een lijn van de signaaltransmissie. Een capacitieve weerstand wordt verhoogd zonder een condensatorgebied te verhogen terwijl WEG het verhinderen van een verhoging van een capacitieve weerstand gebruikend de condensator. Aldus,/VAN capacitieve weerstand kan de verhouding van de capacitieve micro-electro-mechanical schakelaar worden verhoogd en van de toevoegingsverlies en isolatie het kenmerk zou kunnen worden verbeterd.
