An anti-vibration apparatus includes a table, a pneumatic spring for
applying a force to the table, an electromagnetic actuator for applying a
force to the table, and a first generator which generates a driving signal
for the electromagnetic actuator based on at least one of a target
position and a target speed with respect to a movable object on the table.
Μια αντιδονητική συσκευή περιλαμβάνει έναν πίνακα, ένα πνευματικό ελατήριο για την εφαρμογή μιας δύναμης στον πίνακα, έναν ηλεκτρομαγνητικό ενεργοποιητή για την εφαρμογή μιας δύναμης στον πίνακα, και μια πρώτη γεννήτρια που παράγει ένα οδηγώντας σήμα για τον ηλεκτρομαγνητικό ενεργοποιητή βασισμένο τουλάχιστον σε μια από μια θέση στόχων και μια ταχύτητα στόχων όσον αφορά ένα κινητό αντικείμενο στον πίνακα.
