A method of manufacturing a monolithic ink-jet printhead includes preparing
a silicon substrate, forming an ink passage comprising a manifold
supplying ink, an ink chamber filled with ink supplied from the manifold,
an ink channel connecting the ink chamber to the manifold, and a nozzle
through which the ink is ejected from the ink chamber, on the silicon
substrate, and reprocessing a wall of the ink passage by passing XeF.sub.2
gas through the ink passage and dry etching the wall of the ink passage.
In the reprocessing of the wall of the ink passage using XeF.sub.2 gas,
the wall of the ink passage is smoothed, and a size of the ink passage can
be more precisely adjusted to a design dimension, thereby improving a
printing performance of the ink-jet printhead.
Um método de manufaturar um printhead monolítico do ink-jet inclui preparar uma carcaça do silicone, dando forma a uma passagem da tinta que compreendem uma tinta fornecendo do distribuidor, a uma câmara da tinta enchida com a tinta fornecida do distribuidor, a uma canaleta da tinta que conectam a câmara da tinta ao distribuidor, e a um bocal através de que a tinta é ejetada da câmara da tinta, na carcaça do silicone, e em reprocessing uma parede da passagem da tinta passando o gás XeF.sub.2 através da passagem da tinta e gravura a água-forte seca a parede da passagem da tinta. No reprocessing da parede da passagem da tinta usando o gás XeF.sub.2, a parede da passagem da tinta é alisada, e um tamanho da passagem da tinta pode mais precisamente ser ajustado a uma dimensão do projeto, melhorando desse modo um desempenho imprimindo do printhead do ink-jet.
