In a dielectric constant measuring apparatus provided are a light source
for irradiating a substrate with light in a visible or near-ultraviolet
wavelength range, a spectroscope for receiving reflected light from the
substrate, and a first optical characteristic acquiring unit for acquiring
the spectral reflectance of the substrate. Further are provided therein a
light source for irradiating the substrate with light in an infrared
wavelength range, a spectroscope for receiving transmission light from the
substrate, and a second optical characteristic acquiring unit for
acquiring the spectral transmittance of the substrate. The dielectric
constant of a dielectric film on the substrate is obtained by a first
parameter set calculation unit, a second parameter set calculation unit
and a dielectric constant calculation unit, using the spectral reflectance
and spectral transmittance of the substrate. It is thereby possible to
achieve a noncontact measurement of the dielectric constant of the
dielectric film on the substrate.
В обеспеченном приборе диэлектрической константы измеряя находятся источник света для облучать субстрат с светом в видимом или близк-ul6trafioletov длинноволновом диапазоне, спектроскоп для получать отраженный свет от субстрата, и первый оптически характерный приобретая блок для приобретать спектральную характеристику субстрата. Более далее обеспечьте в этом источнику света для облучать субстрат с светом в ультракрасном длинноволновом диапазоне, спектроскоп для получать свет передачи от субстрата, и второй оптически характерный приобретая блок для приобретать спектральную пропускаемость субстрата. Диэлектрическая константа диэлектрической пленки на субстрате получена первым блоком вычисления комплекта параметров, вторым блоком вычисления комплекта параметров и блоком вычисления диэлектрической константы, использующ спектральную характеристику и спектральную пропускаемость субстрата. Таким образом по возможности достигнуть внеконтактного измерения диэлектрической константы диэлектрической пленки на субстрате.
