Illumination optical system and exposure apparatus having the same

   
   

An illumination optical system includes a luminous intensity distribution converting optical system for converting an illuminance distribution of a light source image into a luminous intensity distribution upon a predetermined plane, a light transmitting element having its light entrance surface disposed substantially in coincidence with the predetermined plane, and a light collecting optical system for defining an illumination region upon a surface to be illuminated, by use of light from the light transmitting element.

Een verlichtings optisch systeem omvat een lichtgevende intensiteitsdistributie die optisch systeem om een verlichtingsdistributie van een lichtbronbeeld in een lichtgevende intensiteitsdistributie op een vooraf bepaald vliegtuig, een licht overbrengend element zijn lichte wezenlijk geschikte ingangsoppervlakte hebben in toeval met het vooraf bepaalde vliegtuig, en een licht ombouwt om te zetten die verzamelend optisch systeem om een verlichtingsgebied op een oppervlakte te bepalen dat, door middel van licht van het lichte overbrengende element moet worden verlicht.

 
Web www.patentalert.com

< LED lamp

< Detachable lamp assembly device

> Reflector with complex parabolid surface for elongated light source

> Floor lamp having improved dimmer configuration

~ 00164