Stage system

   
   

A stage system includes a movable stage, a force applying mechanism for applying, by use of an electromagnet, a force to the stage in a direction of a magnetic flux generated by the electromagnet, a moving mechanism for moving the electromagnet in the direction, and a controller for controlling one of the magnetic force of the electromagnet and a generated force thereof.

Um sistema do estágio inclui um estágio móvel, uma força que aplicam o mecanismo para aplicar-se, pelo uso de um eletroímã, uma força ao estágio em um sentido de um fluxo magnético gerado pelo eletroímã, um mecanismo movente para mover o eletroímã no sentido, e um controlador para controlar uma da força magnética do eletroímã e de uma força gerada disso.

 
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< Camera with first and second compression units and with a digital capture unit providing an output to the first or second compression unit

< Image pickup apparatus

> Projection exposure apparatus having aberration measurement device

> Display device

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