Prognostic health monitoring of fluidic systems using MEMS technology

   
   

The present invention is directed to a filter module that may incorporate sensors to measure various characteristics of fluid flow and filtration. The sensors may be MEMS and may measure the temperature, flow rate, pressure, etc. of the fluid. One or more MEMS sensors may be included in a sensor package which, in turn, may be included in a sensor component. The latter, which may also include a processor, conductor pins, etc. for data communication, may be coupled to a sensor port in such a way as to allow contact between the sensor(s) and the fluid. Sensor measurements may be used to determine the occurrence of harmful events, such as cavitation or particle breakthrough, or to predict the remaining service life of a filter element.

A invenção atual é dirigida a um módulo do filtro que possa incorporar sensores para medir várias características do fluxo e do filtration fluidos. Os sensores podem ser MEMS e podem medir a temperatura, a taxa de fluxo, a pressão, etc. do líquido. Um ou o mais sensor de MEMS pode ser incluído em um pacote do sensor que, por sua vez, possa ser incluído em um componente do sensor. O último, que pode também incluir um processador, os pinos do condutor, etc. para a transmissão de dados de, pode ser acoplado a um porto do sensor em tal maneira a respeito de permite o contato entre o sensor(s) e o líquido. As medidas do sensor podem ser usadas determinar a ocorrência de eventos prejudiciais, tais como a descoberta da cavitação ou da partícula, ou predizer a vida de serviço restante de um elemento de filtro.

 
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