A ferroelectric capacitor includes a pair of electrodes, and at least one
ferroelectric held between the pair of electrodes, in which the
ferroelectric includes a first ferroelectric layer having a surface
roughness (RMS) determined with an atomic force microscope of 10 nm or
more; and a second ferroelectric layer being arranged adjacent to the
first ferroelectric layer and having an RMS of 5 nm or less. A process
produces such a ferroelectric capacitor by forming a first ferroelectric
layer on or above one of a pair of electrodes at a temperature equal to or
higher than a crystallization temperature at which the first ferroelectric
layer takes on a ferroelectric crystalline structure, and forming a second
ferroelectric layer on the first ferroelectric layer at a temperature
lower than a crystallization temperature at which the second ferroelectric
layer takes on a ferroelectric crystalline structure.
Ένας σιδηροηλεκτρικός πυκνωτής περιλαμβάνει ένα ζευγάρι των ηλεκτροδίων, και τουλάχιστον έναν σιδηροηλεκτρικό που κρατιέται μεταξύ του ζευγαριού των ηλεκτροδίων, ανά το οποίο ο σιδηροηλεκτρικός περιλαμβάνει ένα πρώτο σιδηροηλεκτρικό στρώμα που έχει μια τραχύτητα επιφάνειας (RMS) καθορισμένη με ένα ατομικό μικροσκόπιο δύναμης 10 NM ή περισσότερο και ένα δεύτερο σιδηροηλεκτρικό στρώμα που τακτοποιείται δίπλα στο πρώτο σιδηροηλεκτρικό στρώμα και που έχει ένα RMS 5 NM ή λιγότεροι. Μια διαδικασία παράγει έναν τέτοιο σιδηροηλεκτρικό πυκνωτή με τη διαμόρφωση ενός πρώτου σιδηροηλεκτρικού στρώματος σε ή επάνω από ένα από ένα ζευγάρι των ηλεκτροδίων σε μια θερμοκρασία ίση με ή υψηλότερη από μια θερμοκρασία κρυστάλλωσης στην οποία το πρώτο σιδηροηλεκτρικό στρώμα παίρνει μια σιδηροηλεκτρική κρυστάλλινη δομή, και τη διαμόρφωση ενός δεύτερου σιδηροηλεκτρικού στρώματος στο πρώτο σιδηροηλεκτρικό στρώμα σε μια θερμοκρασία χαμηλότερη από μια θερμοκρασία κρυστάλλωσης στην οποία το δεύτερο σιδηροηλεκτρικό στρώμα παίρνει μια σιδηροηλεκτρική κρυστάλλινη δομή.
