An optical proximity correction system for local correction of an aerial
image produced from a mask having transmissive portions and blocking
portions collectively defining a target design includes an analyzer to
match one or more segments of the target design to one or more typical
case segments from a predetermined set of typical case segments; a
controller, coupled to the analyzer, for approximating each of the one or
more segments of the target design with matching typical case segments
from the set of typical case segments to produce an adjusted aerial image.
The method for optical proximity correction using local correction of an
aerial image produced from a mask having transmissive portions and
blocking portions collectively defining a target design, includes: a)
analyzing the target design to produce one or more segments from the
target design and to match the one or more segments to one or more typical
case segments from a predetermined set of typical case segments; and b)
approximating each of the one or more segments of the target design with
the matching typical case segments from the set of typical case segments
to produce an adjusted aerial image.
Um sistema ótico da correção da proximidade para a correção local de uma imagem aérea produziu de uma máscara que tem parcelas transmissive e obstruir reparte coletivamente definir um projeto do alvo inclui um analisador para combinar um ou mais segmento do alvo projeta a um ou mais segmento típico do caso de um jogo predeterminado de segmentos típicos do caso; um controlador, acoplado ao analisador, porque a aproximar cada um de o um ou mais segmento do alvo projeta com combinar segmentos típicos do caso do jogo de segmentos típicos do caso para produzir uma imagem aérea ajustada. O método para a correção ótica da proximidade que usa a correção local de uma imagem aérea produziu de uma máscara que tem parcelas transmissive e obstruir reparte coletivamente definir um projeto do alvo, inclui: a) analisando o projeto do alvo para produzir um ou mais segmento do alvo projeta e para combinar o um ou mais segmento a um ou mais segmento típico do caso de um jogo predeterminado de segmentos típicos do caso; e b) aproximando cada um de o um ou os mais segmento do alvo projeta com os segmentos típicos combinando do caso do jogo de segmentos típicos do caso produzir uma imagem aérea ajustada.
