At edges of laser light on an irradiation surface or in the vicinity
thereof, the energy density is attenuated gradually due to aberration of a
lens or the like. Since such regions (attenuation regions) do not have
enough energy density for annealing of an irradiation object, uniform
annealing of the irradiation object is not possible.
In the present invention, one of the plural laser beams is divided into two
laser beams so that each section of the two laser beams serves as an edge
of the resultant laser light. Each attenuation region of the two laser
beams is synthesized with an attenuation region of another laser beam. In
this way, laser light every part of which has an energy density suitable
for satisfactory annealing of an irradiation object can be obtained from
plural laser beams having attenuation regions.
На краях света лазера на поверхности облучением или в близости thereof, плотность энергии ослабленные постепенно должными к аберрации объектива или подобия. В виду того что такие зоны (зоны амортизации) не имеют достаточную плотность энергии для отжига предмета облучением, равномерный отжиг предмета облучением не по возможности. В присытствыющем вымысле, один из плюральные лазерныйа луч будет разделено в 2 лазерныйа луч так, что каждый раздел 2 подач лазерныйа луч как край возникающего света лазера. Каждая зона амортизации 2 лазерныйа луч синтезирована с зоной амортизации другой лазерныйа луч. В этой дороге, свет лазер каждая часть которой имеет плотность энергии целесообразную для удовлетворительного отжига предмета облучением можно получить от плюральные лазерныйа луч имея зоны амортизации.
