A process of producing a thin film electrolyte is provided wherein a
volatile lithium-containing precursor and a volatile phosphate-containing
precursor are mixed into a plasma generated from a plasma source. The
mixture is then deposited upon a substrate. The process is conducted with
the use of a system (11) having a plasma source (13) having a primary
plenum (16) and a secondary plenum (23). The primary plenum is in fluid
communication with a source of nitrogen gas (47) and a source of hydrogen
gas (51). The secondary plenum is in fluid communication with a first
bubbler (31) and a second bubbler (38).
Un processo di produrre un elettrolito della pellicola sottile è fornito in cui un precursore litio-contenente volatile e un precursore contenente fosfati volatile sono mescolati in un plasma generato da una fonte del plasma. La miscela allora è depositata su un substrato. Il processo è condotto con l'uso di un sistema (11) che ha una fonte del plasma (13) avere un'assemblea plenaria primaria (16) e un'assemblea plenaria secondaria (23). L'assemblea plenaria primaria è nella comunicazione fluida con una fonte del gas dell'azoto (47) e una fonte dell'idrogeno (51). L'assemblea plenaria secondaria è nella comunicazione fluida con una prima vasca di gorgogliamento (31) e una seconda vasca di gorgogliamento (38).
