A method and apparatus for inspecting patterned substrates, such as
photomasks, for unwanted particles and features occurring on the
transmissive as well as pattern defects. A transmissive substrate is
illuminated by a laser through an optical system comprised of a laser
scanning system, individual transmitted and reflected light collection
optics and detectors collect and generate signals representative of the
light transmitted and reflected by the substrate. The defect
identification of the substrate is performed using transmitted and
reflected light signals from a baseline comparison between two specimens,
or one specimen and a database representation, to form a calibration
pixelated training set including a non-defective region. This calibration
pixilated training set is compared to a transmitted-reflected plot map of
the subject specimen to assess surface quality.
Метод и прибор для проверять сделанные по образцу субстраты, such as photomasks, для излишних частиц и характеристик происходя на transmissive также,как дефекты картины. Transmissive субстрат загоран лазером через оптически систему, котор состоят из системы скеннирования лазера, оптика индивидуала переданная и отраженная светлая детекторы собрания и собирают и производят представителя сигналов света переданного и отраженного субстратом. Выполнено идентификация дефекта субстрата использующ переданные и отраженные светлые сигналы от сравнения базиса между 2 образцами, или один образец и представление базы данных, сформировать тарировку pixelated тренировка установленная включая нон-nepolnoqennuh зону. Эта тарировка pixilated комплект тренировки сравнена к передавать-otrajenno1 карте графика subject образца для того чтобы определить качества поверхности.
