Microelectromechanical (MEMS) oscillatory devices are placed adjacent a
face of a microelectronic sensor platform and configured to oscillate to
improve transport to the sensor of substances to be detected. The MEMS
oscillatory devices can be configured to oscillate to disrupt the boundary
layer that is formed adjacent the face of the microelectronic sensor
platform, which may improve sensor performance. MEMS oscillatory devices
may be far less susceptible to wear and breakdown than MEMS rotary
devices, such as fans.
Οι microelectromechanical (MEMS) ταλαντώσεων συσκευές τοποθετούνται δίπλα σε ένα πρόσωπο μιας μικροηλεκτρονικής πλατφόρμας αισθητήρων και διαμορφώνονται για να ταλαντευτούν για να βελτιώσουν τη μεταφορά στον αισθητήρα των ουσιών που ανιχνεύονται. Οι ταλαντώσεων συσκευές MEMS μπορούν να διαμορφωθούν για να ταλαντευτούν για να αναστατώσουν το στρώμα ορίου που διαμορφώνεται δίπλα στο πρόσωπο της μικροηλεκτρονικής πλατφόρμας αισθητήρων, η οποία μπορεί να βελτιώσει την απόδοση αισθητήρων. Οι ταλαντώσεων συσκευές MEMS μπορούν να είναι μακριά λιγότερο ευαίσθητες στην ένδυση και τη διακοπή από τις περιστροφικές συσκευές MEMS, όπως οι ανεμιστήρες.
