Blower for gas laser

   
   

A tangential blower for use in a gas discharge laser is provided provides improved homogeneity of laser gas flow through the discharge region of the laser. A flange which supports adjacent blower sections has an aerodynamic shape and occupies a minimal portion of the space in the inlet region of the blowers. The ends of the blower's shafts may be formed as a twice-profiled polygon which is has a non-uniform and preferably rounded geometry along its longitudinal axis where it fits into end flanges. The blades of the blower may be formed with varying thickness and radii of curvature. The blower's blades and hubs may be cast as a single piece of steel, titanium alloy, or other suitable material.

Обеспечена касательная воздуходувка для пользы в лазере разрядки газа обеспечивает улучшенную гомогенность газа лазера flow through зона разрядки лазера. Фланец поддерживает смежные разделы воздуходувки имеет аэродинамическую форму и занимает минимальную часть космоса в зоне входа воздуходувок. Концы валов воздуходувки могут быть сформированы как дважды-profilirovanny1 полигон имеет non-uniform и предпочтительн округленную геометрию вдоль своей продольной оси где он помещает в фланцы конца. Лезвия воздуходувки могут быть сформированы с меняя толщиной и радиусами погнутости. Лезвия и hubs воздуходувки могут быть брошены как single piece сплава стали, titanium, или другого целесообразного материала.

 
Web www.patentalert.com

< Ridge-type semiconductor laser element

< Gas laser apparatus emitting ultraviolet radiation

> Laser gas supply path structure in an exposure apparatus

> Solid state laser disk amplifer architecture: the normal-incidence stack

~ 00157