In a system for specific deformation of optical elements in an imaging
device, in particular in a projection exposure machine having a projection
lens for micro-lithography, for the purpose of eliminating image errors or
for active adjustment, piezoelectric elements are applied as actuators in
the form of thin plates, films or layers to surfaces to be deformed, or
integrated into them. In conjunction with an adaptronic servo loop having
sensors, forces and/or moments are exerted on the optical elements for
their specific deformation by means of a controlled activation of the
piezoelectric elements as actuators.
En un sistema para la deformación específica de elementos ópticos en un dispositivo de la proyección de imagen, en detalle en una máquina de la exposición de la proyección que tiene una lente de la proyección para la micro-litografi'a, con el fin de eliminar errores de la imagen o para el ajuste activo, los elementos piezoeléctricos se aplican como actuadores en la forma de placas, de películas o de capas finas a las superficies que se deformirán, o integradas en ellas. Conjuntamente con un bucle de servo adaptronic que tiene sensores, las fuerzas y/o los momentos se ejercen en los elementos ópticos para su deformación específica por medio de una activación controlada de los elementos piezoeléctricos como actuadores.
