Continuously variable analog micro-mirror device

   
   

A micro-mirror device includes a substrate, a reflective element spaced from the surface of the substrate, a pair of electrodes disposed adjacent to the surface of the substrate, spaced apart from each other, and disposed adjacent to opposite ends of the reflective element, and including a dielectric liquid disposed at least between the reflective element and the pair of electrodes. The reflective element is adapted to be positioned at any position within a continuous range between a first position and a second position in response to analog electrical signals applied to the pair of electrodes.

Un dispositif de micro-miroir inclut un substrat, un élément r3fléchissant éloigné de la surface du substrat, une paire d'électrodes disposées à côté de la surface du substrat, espacées indépendamment de l'un l'autre, et disposées à côté des fins opposées de l'élément r3fléchissant, et d'inclure un liquide diélectrique disposé au moins entre l'élément r3fléchissant et la paire d'électrodes. L'élément r3fléchissant est adapté pour être placé à n'importe quelle position dans une marge continue entre une première position et une deuxième position en réponse aux signaux électriques analogues appliqués à la paire d'électrodes.

 
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