Dual damascene bond pad structure for lowering stress and allowing circuitry under pads

   
   

A bond pad is located over active circuitry formed within an integrated circuit device. A barrier film forms the bottom surface of the upper portion of a bond pad opening which also includes vias extending through the bottom surface to form a dual damascene structure. The bond pad is resistant to stress effects such as cracking, which can be produced when bonding an external wire to the bond pad, and therefore prevents leakage currents between the bond pads and the underlying circuitry.

Bond пусковая площадка расположена над активно сетями сформированными внутри приспособление интегрированной цепи. Пленка барьера формирует нижнюю поверхность верхней части отверстия bond пусковой площадки также вклюает vias extending through нижняя поверхность для того чтобы сформировать двойную damascene структуру. Bond пусковая площадка упорна к влияниям усилия such as трескать, который можно произвести скрепляя внешний провод к bond пусковой площадке, и поэтому предотвращает течения утечки между bond пусковыми площадками и основными сетями.

 
Web www.patentalert.com

< Semiconductor device having resistive element formed of semiconductor film

< Structures for increasing the critical temperature of superconductors

> Interlocking conductor method for bonding wafers to produce stacked integrated circuits

> Integrated starter generator drive having selective torque converter and constant speed transmission for aircraft having a constant frequency electrical system

~ 00153