Pattern evaluation method, pattern evaluation system and computer readable recorded medium

   
   

A pattern evaluation method includes: scanning an object to be measured on which a pattern has been formed with an energy beam and obtaining an image data of the object by detecting a scattered particle which is produced from the object; recognizing at least one edge of the pattern on the basis of the image data and calculating the coordinate positions of each edge point of a sequence of edge points constituting the shape of the edge of the pattern; deriving a straight line so that the sum of lengths of perpendiculars drawn from the edge points to the straight line is minimum; and statistically processing the lengths of perpendiculars when the straight line is derived and outputting evaluation information for quantitatively expressing roughness of the edge of the pattern.

Un metodo di valutazione del modello include: esplorando un oggetto da misurare su cui un modello è stato formato con un fascio di energia ed ottenere i dati di immagine dell'oggetto rilevando una particella sparsa che è prodotta dall'oggetto; riconoscendo almeno un bordo del modello in base ai dati ed a calcolare di immagine le posizioni coordinate di ogni punto del bordo di una sequenza dei punti del bordo che costituiscono la figura del bordo del modello; derivare una linea retta in modo che la somma delle lunghezze delle perpendicolari disegnate dal bordo indichi alla linea retta è minimo; e statisticamente procedendo le lunghezze delle perpendicolari quando la linea retta è derivata e producente le informazioni di valutazione per quantitativamente esprimere la rugosità del bordo del modello.

 
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