An absolute accuracy in the range from .+-.2 nm to .+-.1 nm for a
displacement measurement value is provided by a laser interferometer
displacement measuring system. A fluctuating error component that appears
corresponding to the wave cycle of laser light is detected and subtracted
from the measurement value while a stage is moving, thereby providing a
high accuracy.
Uma exatidão absoluta na escala do +-.2 nm ao +-.1 nm para um valor da medida do deslocamento é fornecida por um sistema de medição do deslocamento do interferometer do laser. Um componente flutuando do erro que pareça correspondente ao ciclo da onda da luz de laser é detectado e subtraído do valor da medida quando um estágio se mover, fornecendo desse modo uma exatidão elevada.
